輪廓儀

簡要描述：NewView™ 9000 3D光學表面輪廓儀是ZYGO旗下核心旗艦計量產品，依托品牌前沿的光學測量技術與智能化創新設計，實現了非接觸、無破壞性的高精度表面形貌測量，兼顧實驗室研發的精度需求與工業生產過程控制的高效實用需求，可適配多行業、多場景的精密測量工作，為各類高精尖產品的研發、質控、工藝優化提供可靠且的計量支撐。

產品型號：ZYGO NewView™ 9000
廠商性質：代理商
更新時間：2026-03-06
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ZYGO NewView™ 9000 3D光學表面輪廓儀產品介紹
一、品牌與產品概述：深耕精密計量，鑄就硬核實力
ZYGO作為深耕超精密制造技術領域數十年的企業，始終專注于表面測量、位置傳感、精密光學元件及組件制造領域，憑借深厚的技術積淀與豐富的行業經驗，為全球各行業提供專業化、定制化的光學計量解決方案，是超精密計量領域的品牌。
NewView™ 9000 3D光學表面輪廓儀是ZYGO旗下核心旗艦計量產品，依托品牌前沿的光學測量技術與智能化創新設計，實現了非接觸、無破壞性的高精度表面形貌測量，兼顧實驗室研發的精度需求與工業生產過程控制的高效實用需求，可適配多行業、多場景的精密測量工作，為各類高精尖產品的研發、質控、工藝優化提供可靠且的計量支撐。

二、核心測量技術：硬核原理加持，突破測量瓶頸
1. 核心原理：相干掃描干涉技術（CSI）
NewView™ 9000以相干掃描干涉技術（CSI）為核心測量原理，該技術也是ZYGO全系3D光學輪廓儀的技術基石，歷經市場與行業多重驗證，穩定性與精準度。設備通過窄線寬濾波的LED光源產生干涉條紋，對樣品測試表面與理想參考面的偏差進行精細化采樣分析，借助干涉顯微物鏡垂直于樣品表面掃描，可獲取整個視場區域的三維數據地圖，而非傳統設備的單一剖面線輪廓，真正實現亞納米級的形貌縱向分辨率，精準捕捉微觀形貌細節。
2. 專屬優化與抗振技術
為保障測量的高保真度，ZYGO針對每一款配套物鏡開展專屬優化，讓干涉條紋包絡的峰值位置與物鏡光學成像焦點契合，確保設備在全放大倍數下都能保持穩定如一的測量精度，杜絕倍率切換帶來的精度偏差。同時，設備深度融合SureScan?抗振掃描技術，即便在存在振動的復雜工業環境中，也能完成高精度計量作業，打破傳統精密測量設備對嚴苛無塵、無振環境的硬性限制，大幅拓展設備適用場景。

三、產品性能與功能特點：全維升級，適配多元需求
1. 高精度與高重復性，數據精準可靠
NewView™ 9000具備行業頂尖的測量精度與重復性，滿足超精密計量需求：表面形貌重復性優于0.08nm，RMS重復性達0.008nm；光學橫向分辨率在100×物鏡下可達0.34μm，空間采樣分辨率在100×物鏡2×zoom下為0.04μm；臺階高度測量重復性為0.1%，精度高達0.03%，可精準捕捉樣品表面納米級的細微形貌特征。所有測量結果均嚴格符合ISO 25178、ISO 4287/4288等國際標準，數據具備通用性、可追溯性。
2. 高效測量與極簡操作，降低使用門檻
設備支持高速掃描模式，不同測量陣列下最大掃描速度可達171μm/sec，數秒內即可捕獲百萬級海量數據點，相較于傳統設備效率呈幾何級提升，適配工業量產化檢測節奏。搭載Part Finder自動條紋對焦與Smart Setup智能設置功能，無需專家級專業培訓，新手操作1分鐘內即可自動找到條紋并完成測試準備，大幅降低操作門檻與人力成本。
硬件配置上，設備配備0.5X-100X多倍率物鏡，涵蓋標準、長焦、超長焦多種工作距離，搭配0.5X、0.75X、1.5X、2.0X可選的zoom切換模式，視場范圍可達0.04-17.49mm，集成圖像拼接功能后，還可實現更大范圍的全域測量，輕松適配不同尺寸、不同精度要求的樣品檢測，真正做到一機多用。
3. 智能化軟件與強大分析能力
設備搭載ZYGO專屬定制的Mx?分析測量軟件，可實現全流程系統控制與一站式數據分析，支持交互式三維形貌可視化展示、定量數據精準輸出，配備直觀簡潔的導航欄與內置過程控制（SPC）的統計、控制圖表，還可自定義設置通過/失敗限制，高度貼合工業生產的質量管控需求。
軟件功能豐富且智能化：區域分析工具可智能分離并分析測量數據的不同區域，實現特征高度尺寸量化、溝槽寬度深度精準分析；支持拼接測量與全自動化功能，可拼接高倍率高分辨率數據，自動測試樣品不同區域，兼顧大視場范圍與高數據密度；內置Python編程環境，支持用戶編寫自動化測試程序、自定義分析功能，還能創建專屬軟件界面和控制板，靈活適配個性化測量需求。此外，搭載的SmartPSI?技術，可實現高精度、高速、低噪聲測量，對超光滑表面的Sq結果測量可達0.06nm，進一步強化設備性能。
4. 廣泛樣品適配性，無損檢測全覆蓋
NewView™ 9000對樣品材質、形態、規格兼容性強，可測量透明、不透明、鍍膜、非鍍膜、反射、弱反射等各類材料表面，樣品反射率適配范圍廣至0.05%-100%；可耐受樣品最大傾斜度表現優異，光滑樣品可達55°（100×物鏡）、散射面高達86°；樣品最大尺寸可達89×203×203mm（高×寬×長），更大尺寸樣品可部分懸空放置測量，無需特殊的樣品制備流程，全程非接觸測量對樣品無任何損傷，適配各類精密易損樣品檢測。

四、設備硬件配置：精工打造，穩定耐用
1. 核心硬件參數
掃描裝置采用閉環反饋電容控制精密壓電陶瓷，自帶防撞保護設計，縱向掃描范圍涵蓋150μm精密壓電陶瓷掃描與20mm擴展掃描，兼顧精細測量與大范圍檢測；光源為固態白光光源，配備手動限位、孔徑限位與光譜過濾功能，保障光源穩定性與測量精準度；測量陣列可選1600×1200、1000×1000、1000×600、1000×200多種規格，可根據實際需求靈活選配。
2. 樣品臺與聚焦系統
樣品臺分為手動與電控兩種類型，手動平臺XY向平移范圍100mm、傾斜±3°，電控平臺XY向平移范圍150mm、傾斜±3°，編碼XYZ軸支持按需選配；精密聚焦支持電控手動與聚焦輔助自動聚焦雙模式，100μm行程下分辨率達0.1μm，軟件Mx中還集成樣件觀察窗，便于精準定位樣品、實時觀測測量狀態。
3. 整機規格與環境要求
設備主機尺寸為75×64×56cm，含支撐且門關時最大高度為151×73×61cm，抽屜閉合時為83×73×61cm；主機重量約91Kg，整套系統含支撐重量為229Kg，可選配專用工作臺，適配不同實驗室與車間布局。控制系統采用i7級別PC，搭配23寸1080p高清顯示器，軟件運行于64位Microsoft Windows 10系統，操作流暢、運行穩定。
設備環境適應性出眾，工作溫度為15-30℃，溫度變化率需小于1.0℃/15分鐘；相對濕度5%-95%且無凝結；內置隔振系統，可隔離1-120Hz的震動，震動標準達到VC-C或更好，聲學標準NC30或更好；供電兼容100-240VAC、50/60Hz，適配全球多地供電標準。

五、典型應用場景：覆蓋全行業，賦能精密制造
NewView™ 9000憑借多維度性能優勢，可覆蓋多行業超精密測量需求，是工藝控制、研發創新的核心計量工具，具體應用場景涵蓋：
- 精密機械加工：精準測量機械零件表面粗糙度、面形、波紋度，檢測臺階高度、溝槽尺寸等關鍵參數，可捕捉傳動齒輪接觸面中頻波紋度等傳統計量難以檢測的誤差，嚴控加工精度、提升零部件品質。
- 光學制造：適配光學鏡片、透鏡等元件超精密測量需求，借助多倍率物鏡檢測不同空間頻率表面特征，SmartPSI?技術可快速完成超光滑光學表面粗糙度測量，助力管控光學制造工藝。
- 消費電子：針對手機攝像頭、面板、半導體器件等產品，測量臺階、深度、紋理與關鍵尺寸，單臺設備實現多參數檢測，節省工藝時間，計量方案可從研發復用至量產，適配大小批量生產需求。
- 摩擦學與材料研發：對金屬、陶瓷、玻璃、納米復合膜等各類材料開展納米級精度表面特征測量，為磨損分析、新材料表面性能研究提供定量3D形貌數據，支撐科研創新。
- 透明薄膜測量：可測量厚度大于400nm的薄膜，同步獲取薄膜厚度與表面形貌數據，適配光學薄膜、電子薄膜等產品檢測。
- 醫療與創新領域：應用于人工關節植入體等精密醫療部件測量，以及AR/VR顯示器件等創新產品計量檢測，助力各行業技術升級與質量提升。

六、定制化與配套服務：全周期保障，貼合專屬需求
ZYGO擁有專業資深的工程師團隊，可根據客戶個性化關鍵計量需求，為NewView? 9000提供定制化解決方案，包括定制樣品夾具、定制保護罩、專屬隔振系統、定制軟件功能，以及系統集成與OEM服務等，精準匹配不同客戶的特殊使用場景。
同時，ZYGO在全球多地布局完善的服務網絡，依托數十年超精密計量技術經驗，為客戶提供全周期技術支持與售后保障，定期校準、維護設備，確保設備長期保持穩定的測量性能，貼合客戶研發與生產中的長期計量需求。

七、產品總結
ZYGO NewView™ 9000 3D光學表面輪廓儀深度融合非接觸測量技術、頂尖精度性能與智能化創新設計，既滿足實驗室的精密研發測量需求，又適配工業生產現場的過程控制與在線檢測，兼具精度、效率、穩定性與兼容性，是各行業實現精密計量、把控產品質量、提升研發效率的核心設備。

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